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儀器類別:
應(yīng)用領(lǐng)域:
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電子束蒸發(fā)系統(tǒng) (Thin Film Depostion System)
主要技術(shù)指標(biāo):電子槍功率3kW,本底真空10E-9Torr,6寸旋轉(zhuǎn)樣品托(可液氮冷卻),坩堝5*2.24cc 功能/應(yīng)用范圍:蒸鍍各種金屬薄膜 主要測(cè)試和研究領(lǐng)域:電子/信...
上海楊浦區(qū)
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主要技術(shù)指標(biāo):系統(tǒng)的極限壓強(qiáng)可達(dá)≤5x10-8Torr;30分鐘從大氣壓抽到≤5x10-6Torr;坩堝的數(shù)目4個(gè),坩堝的容量不小于7cc;電子槍功率不小于5kW。 功能/應(yīng)用范圍:主要用于...
上海楊浦區(qū)
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主要技術(shù)指標(biāo):樣品尺寸:2,4,6英寸基片,兼容加工小片和碎片;有加熱和冷卻裝置;下電極溫度范圍-150°C…+400°C;刻蝕氣體8路:HBr,SF6,C4F8,CHF3,BCl3,O2,N2,Ar。...
上海楊浦區(qū)
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儀器用途?蛋白純化
江蘇南京
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主要技術(shù)指標(biāo):樣品尺寸:2,4,6英寸基片,兼容加工小片和碎片;有加熱和冷卻裝置;下電極溫度范圍-150°C…+400°C;刻蝕氣體8路:HBr,SF6,C4F8,CHF3,BCl3,O2,N2,Ar。...
上海楊浦區(qū)