SEM（場發(fā)射掃描電鏡）：利用陰極所發(fā)射的電子束經(jīng)陽極加速，由磁透鏡加速后形成一束直徑為幾十埃到幾千埃的電子束流，這束高能電子束轟擊到樣品表面會激發(fā)多種信息，經(jīng)過分別收集，放大就能從顯示屏上得到各種相應的圖像。

EDS（能譜分析儀）：入射電子束可停留在被觀察區(qū)域上的任何位置.X射線在直徑1微米的體積內產生,可對試樣表面元素的分布進行質和量的分析，高能電子束轟擊樣品表面，激發(fā)各種信號。

可以對陶瓷、金屬、粉末、塑料等樣品進行形貌觀察及成分分析。