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隨著半導(dǎo)體工業(yè)、精細(xì)化工和光電纖維工業(yè)的發(fā)展,產(chǎn)生了對(duì)高純氫的需求。例如,半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝需要使用99.999%以上的高純氫。但是工業(yè)上各種制氫方法所得到的氫氣純度不高,為滿足工業(yè)上對(duì)各種高純氫的需求,必須對(duì)氫氣進(jìn)行進(jìn)一步的純化。氫氣的純化方法大致可分為兩類(物理法和化學(xué)法), 氫氣提純方法主要有低溫吸附法,低溫液化法,金屬氫化物氫凈化法;此外還有鈀膜擴(kuò)散法,中空纖維膜擴(kuò)散法和變壓吸附法等六種方法。