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【儀器簡(jiǎn)介】
掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí),被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí),也可產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng) (聲子)、電子振蕩 (等離子體)。原則上講,利用電子和物質(zhì)的相互作用,可以獲取被測(cè)樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息,如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場(chǎng)或磁場(chǎng)等等。
聚光鏡:可變焦聚光鏡 物鏡:超級(jí)錐形物鏡 物鏡光闌:3檔,X-Y可細(xì)調(diào)
電位移:±50微米 自動(dòng)功能:聚焦,亮度,襯度,消像散
最大樣品:直徑:150mm 樣品交換:抽拉式樣品臺(tái)
真空系統(tǒng):全自動(dòng)擴(kuò)散泵DP。分子泵TMP.
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