主要技術(shù)指標(biāo)
功率發(fā)生器2kW,2.45GHz;質(zhì)量流量計(jì)10,30,50sccm;系統(tǒng)真空度優(yōu)于1.0×10-6Torr;保壓12小時(shí)后真空度優(yōu)于1.0×10-1Pa
主要功能
最大沉底加熱溫度900℃負(fù)偏壓電源電壓1000V電流1000mA
技術(shù)特色
金剛石薄膜的制備以及一些新型材料的生長(zhǎng)設(shè)計(jì)
主要測(cè)試或應(yīng)用領(lǐng)域
材料/珠寶首飾,其他