主要技術(shù)指標(biāo):50x50x2.5μm掃描器,AFM橫向分辨率10-50nm,縱向分辨率〉1nm。
功能/應(yīng)用范圍:功能包括:AFM,CAFM和EFM主要可用于較大范圍(1 - 50um)的表面性貌的測(cè)試和簡(jiǎn)單的電學(xué)測(cè)試
主要測(cè)試和研究領(lǐng)域:其他
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